箱体抽真空用真空泵

螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于上世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展，它也是干式螺杆真空泵厂家珂勒曦的主要产品领域之一。现在就跟随干式螺杆真空泵厂家去了解一下它的情况。
箱体抽真空用真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：
1、清洁无油，多相混输，适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。
2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。
3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。
4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。
箱体抽真空用真空泵不仅适应性广泛，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）（干式螺杆真空泵厂家珂勒曦的螺杆式真空泵极限真空已突破0.1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
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